Foirnéise Feadáin PECVD
Is córas foirnéise feadán taiscí céim gáis plasma é foirnéise feadán PECVD, atá comhdhéanta de sheomra imoibrithe Grianchloch, soláthar cumhachta minicíochta raidió, córas measctha gáis ilchainéil, aonad bhfolús, agus córas rialaithe imoibrithe. Úsáideann an foirnéis ábhar snáithín alúmana ard-íonachta, agus tá an dromchla brataithe le sciath alúmana ardteochta allmhairithe chun saol seirbhíse na hionstraime a leathnú agus éifeachtúlacht téimh a fheabhsú. Tá gléas ionduchtaithe minicíochta raidió suiteáilte os comhair an taiscthe gaile ceimiceach traidisiúnta chun an gás imoibrithe a ianú agus plasma a ghiniúint. Luathaíonn ardghníomhaíocht an plasma an t-imoibriú. Tá dea-aonfhoirmeacht agus atrialltacht aige, féadann sé scannáin a fhoirmiú thar limistéar mór, is féidir scannáin a fhoirmiú ag teocht íseal, tá clúdach céim den scoth aige, agus tá sé éasca comhdhéanamh agus tiús an scannáin a rialú agus éasca le tionsclaíocht. Úsáidtear go forleathan é i bhfás scannáin tanaí mar graphene, aonocsaíd sileacain, nítríde sileacain, ocsaitríd sileacain, agus sileacain éagruthach (A-SI: H).
| Méid feadáin foirnéise (MM) | Teocht oibriúcháin (°C) | Céim folúis | Cumhacht (KW) | Voltas | Eilimintí teasa | Ráta téimh |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0.1MPA 10PA 6.67*10- 4PA | 3 | 220/380V | Sreang friotaíochta | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| 120*2200 | 5 |

-
Tá foirnéisí feadáin mar chnámh droma na próiseála ardteochta le blianta fada anuas — ach d’fhéadfadh go gciallódh an bhearna idir aonad dea-shonraithe agus aonad nach bhfuil comhoiriúnaithe go leor an difríocht idir torthaí comhsheasmhacha agus teipeanna costasacha. Cibé an bhfuil tú ag shintéiriú ardcheirmeacha, ag déanamh turgnaimh CVD, nó ag próiseáil cóimhiotail faoi atmaisféir rialaithe, tá sé riachtanach a thuiscint cad a scarann foirnéis feadáin chumasach ardteochta agus foirnéis...



