Foirnéise Feadáin PECVD
Is córas foirnéise feadán taiscí céim gáis plasma é foirnéise feadán PECVD, atá comhdhéanta de sheomra imoibrithe Grianchloch, soláthar cumhachta minicíochta raidió, córas measctha gáis ilchainéil, aonad bhfolús, agus córas rialaithe imoibrithe. Úsáideann an foirnéis ábhar snáithín alúmana ard-íonachta, agus tá an dromchla brataithe le sciath alúmana ardteochta allmhairithe chun saol seirbhíse na hionstraime a leathnú agus éifeachtúlacht téimh a fheabhsú. Tá gléas ionduchtaithe minicíochta raidió suiteáilte os comhair an taiscthe gaile ceimiceach traidisiúnta chun an gás imoibrithe a ianú agus plasma a ghiniúint. Luathaíonn ardghníomhaíocht an plasma an t-imoibriú. Tá dea-aonfhoirmeacht agus atrialltacht aige, féadann sé scannáin a fhoirmiú thar limistéar mór, is féidir scannáin a fhoirmiú ag teocht íseal, tá clúdach céim den scoth aige, agus tá sé éasca comhdhéanamh agus tiús an scannáin a rialú agus éasca le tionsclaíocht. Úsáidtear go forleathan é i bhfás scannáin tanaí mar graphene, aonocsaíd sileacain, nítríde sileacain, ocsaitríd sileacain, agus sileacain éagruthach (A-SI: H).
| Méid feadáin foirnéise (MM) | Teocht oibriúcháin (°C) | Céim folúis | Cumhacht (KW) | Voltas | Eilimintí teasa | Ráta téimh |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0.1MPA 10PA 6.67*10- 4PA | 3 | 220/380V | Sreang friotaíochta | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| 120*2200 | 5 |

-
Cén fáth a bhfuil Foirnéisí Leictreacha Tionscail Athshainmhíniú ar Phróiseáil Ardteochta I ndéantúsaíocht nua-aimseartha, ní só-rialú beacht teirmeach é - ceanglas próisis é. Tá an foirnéis leictreach tionsclaíoch tar éis éirí mar chnámh droma na n-oibríochtaí ardteochta ar fud miotalóireacht, criadóireacht, aeraspáis agus táirgeadh ard-ábhar. Murab ionann agus roghanna breosla-bhunaithe, seachadann foirnéisí leictreacha próifílí teasa in-ríomhchláraithe in-athdhéanta agus a bhfuil ...



