Foirnéise Feadáin PECVD
Is córas foirnéise feadán taiscí céim gáis plasma é foirnéise feadán PECVD, atá comhdhéanta de sheomra imoibrithe Grianchloch, soláthar cumhachta minicíochta raidió, córas measctha gáis ilchainéil, aonad bhfolús, agus córas rialaithe imoibrithe. Úsáideann an foirnéis ábhar snáithín alúmana ard-íonachta, agus tá an dromchla brataithe le sciath alúmana ardteochta allmhairithe chun saol seirbhíse na hionstraime a leathnú agus éifeachtúlacht téimh a fheabhsú. Tá gléas ionduchtaithe minicíochta raidió suiteáilte os comhair an taiscthe gaile ceimiceach traidisiúnta chun an gás imoibrithe a ianú agus plasma a ghiniúint. Luathaíonn ardghníomhaíocht an plasma an t-imoibriú. Tá dea-aonfhoirmeacht agus atrialltacht aige, féadann sé scannáin a fhoirmiú thar limistéar mór, is féidir scannáin a fhoirmiú ag teocht íseal, tá clúdach céim den scoth aige, agus tá sé éasca comhdhéanamh agus tiús an scannáin a rialú agus éasca le tionsclaíocht. Úsáidtear go forleathan é i bhfás scannáin tanaí mar graphene, aonocsaíd sileacain, nítríde sileacain, ocsaitríd sileacain, agus sileacain éagruthach (A-SI: H).
| Méid feadáin foirnéise (MM) | Teocht oibriúcháin (°C) | Céim folúis | Cumhacht (KW) | Voltas | Eilimintí teasa | Ráta téimh |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0.1MPA 10PA 6.67*10- 4PA | 3 | 220/380V | Sreang friotaíochta | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| 120*2200 | 5 |

-
Is annamh a theipeann ar líneáil foirnéise mar gheall ar shroich an foirnéis teocht dodhéanta. Teipeann sé de ghnáth toisc gur roghnaíodh an t-ábhar teasfhulangacha don mheascán mícheart de theas, ceimic, ualach, agus timthriall teirmeach. Tá na hairíonna eolach: spalling ar an aghaidh te, hailt oscailte, ancairí creimthe, agus blaosc a ídíonn go ciúin gás nó leictreachas ar feadh míonna. Freagra gairid: roghnaigh ábhar teasfhulangacha foirnéise de réir mód teip ar dt...



