Córas Foirnéise PECVD
Is córas PECVD meánmhéide, sleamhnáin-oscailte é an táirge seo. Tá an Córas Foirnéise Tube PECVD seo feistithe le soláthar cumhachta plasma RF, córas measctha gáis trí-shreabhadh mais (le raonta 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, agus 1-200 SCCM), foirnéis feadán oscailte trastomhas 60mm (le flange bhfolús agus píobaireacht nasctha), agus caidéal meicniúil.
Faisnéis faoin Táirge
| Múnla Táirge | Córas Foirnéise Feadáin PECVD sleamhnáin —— OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Príomhpharaiméadair táirge | Soláthar cumhachta: 220V 50/60Hz; Cumhacht rátáilte: 3.1 kW; Teocht oibriúcháin uasta: 1200°C (<0.5 h); Teocht oibriúcháin leanúnach: ≤1100 ° C; Ráta téimh molta: ≤10°C/min; Fad crios téimh: 440mm; Teirmeachúpla: K-cineál |
| Príomhghnéithe | Is féidir le soláthar cumhachta RF feabhsú plasma a bhaint amach agus an teocht turgnamhach a laghdú go suntasach; is féidir ardú agus titim teochta tapa a bhaint amach tríd an gcomhlacht foirnéise a shleamhnú; is féidir strus an scannáin a rialú trí mhinicíocht an tsoláthair chumhachta RF; is féidir an stoichiometry a rialú trí choigeartú próisis; is féidir ábhair éagsúla ar nós SiOx, SiNx, SiOxNy agus (a-Si:H) a chur i dtaisce |
| Eilimint téimh | Sreang cóimhiotal iarainn-cróimiam-alúmanam 0Cr21Al6Nb |
| Méid feadán foirnéise | Trastomhas feadán Grianchloch roghnach: Φ60 |
| Córas rialaithe teochta | Áirítear rialtóir teocht YD858; Rialú PID agus coigeartú féinchoigeartaithe, rialú in-ríomhchláraithe 50-deighleog cliste, le feidhmeanna aláraim ró-teocht agus dóite; cruinneas rialaithe teochta: ± 1 ℃ |
| Soláthar cumhachta plasma RF | Soláthar cumhachta RF 300W; Cumhacht aschuir: 0~300W inchoigeartaithe; Minicíocht RF: 13.56MHZ; Meaitseáil uathoibríoch; Leibhéal torainn < 50dB; Modh fuaraithe: Fuarú aer; Voltas ionchuir: 180 ~ 250V |
| Comhéadan flange séalaithe i bhfolús | Cumraíocht chaighdeánach: péire flanges bhfolús cruach dhosmálta agus fáinní séalaithe silicone ardteochta; is iad na flanges asraonta flanges trí-chalafort K16, KF25, agus Φ8.2; is féidir an flange asraon a nascadh leis an adapter KF25 le bellows agus ansin chuig an gcaidéal folúis. |
| caidéal folúis | Glacadh le caidéal folúis meicniúil eite rothlach dúbailte TRP-12; is féidir le céim fholús 10-2torr a bhaint amach; Tá gabhálais nasc bhfolús feistithe le teanntáin KF25 agus bellows cruach dhosmálta chun foirnéis an fheadáin agus an caidéal folúis a nascadh |
| Córas soláthair gáis | Córas measctha trí-shreabhadh mais - GYS-3Z; Soláthar cumhachta: 220V 50/60Hz; Raonta tomhais: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Tá tomhas brú meicniúil suiteáilte ar an bpainéal tosaigh agus ceangailte leis an bpíopa mheascadh; Raon tomhas brú: -0.1-0.15MPa; Méid umar mheascadh: Φ80 * 120mm; Is é Φ6.35 an píopa nasctha inmheánach |
| Struchtúr foirnéise | Is féidir an comhlacht foirnéise a bhogadh ar chlé agus ar dheis, agus is féidir an soláthar cumhachta RF a bhogadh ar chlé agus ar dheis. Tá an comhlacht foirnéise agus soláthar cumhachta RF suiteáilte ar an iarnród sleamhnáin céanna agus úsáideann siad an feadán grianchloch céanna. |
| Caighdeáin deimhniúcháin agus comhpháirteanna lárnacha | Tá comhpháirteanna lárnacha an mheaisín iomláin i gcomhréir le CE, UL, MET agus caighdeáin deimhniúcháin eile; Áirítear leis na comhpháirteanna lárnacha comhpháirteanna leictreacha ABB, sreanga agus cáblaí deimhnithe UL, ionstraimí Omega, Yudian, Ilchríochach, etc. |
Déan Teagmháil Linn
Zhejiang Nengcheng Crystal Snáithín Co, Teo.
Zhejiang Nengcheng Crystal Snáithín Co, Teo. Bunaíodh sa bhliain 2015 é. Is fiontar gairmiúil é a fhorbraíonn agus a tháirgeann ábhair ardteochta thar a bheith éadroma a choigiltíonn fuinneamh, agus a dhíolann foirnéisí leictreacha turgnamhacha, foirnéisí leictreacha tionsclaíocha, agus foirnéisí leictreacha saincheaptha neamhchaighdeánacha. Gairmiúil Córas Foirnéise PECVD Monaróirí agus Córas Foirnéise PECVD Monarcha. Cloíonn an chuideachta le prionsabal na "marthanais trí cháilíocht, forbairt trí cháil" agus coinníonn sí fealsúnacht ghnó na "praiticiúlachta, na sláine agus na héifeachtúlachta". Táimid tiomanta do réitigh trealaimh chuimsitheacha agus ardchaighdeáin a sholáthar do chustaiméirí i dtionscail ar nós criadóireachta, miotalóireachta, leictreonaice, gloine, agus innealtóireachta ceimiceacha. Soláthraímid seirbhísí freisin ar nós róstadh púdair, sintéiriú criadóireachta, agus turgnaimh ardteochta d'ollscoileanna, d'institiúidí taighde, agus do fhiontair thionsclaíocha agus mianadóireachta. Ag an am céanna, táimid ag iarraidh forbairt straitéiseach snáithín alúmana ardteochta éadrom, coigilte fuinnimh agus neamhdhíobhálach don chomhshaol Nengcheng a chur chun cinn i réimse na bhfoirnéisí nua, agus táimid ag iarraidh a bheith i do sholáthraí seirbhíse tionscail trealaimh ardteochta chun cinn idirnáisiúnta. Córas Foirnéise PECVD Saincheaptha.
An Nuacht is Déanaí
-
Struchtúr Bunúsach a Foirnéise Fholúis Tá foirnéis fholús comhdhéanta de roinnt córas comhtháite atá deartha chun oibriú faoi choinníollacha rialaithe ísealbhrú. Áirítear leis an struchtúr lárnach seomra folúis, córas téimh, cóimeáil inslithe, aonad caidéalaithe folúis, agus córas rialaithe. Tá ról sonrach ag gach comhpháirt maidir le timpeallacht cobhsaí teirmeach agus atmaisféarach a chothabháil le linn cóireála teasa. De ghnáth déantar an seomra folúis as cruach dhosmálta nó cr...
