Córas Foirnéise PECVD
Is córas PECVD meánmhéide, sleamhnáin-oscailte é an táirge seo. Tá an Córas Foirnéise Tube PECVD seo feistithe le soláthar cumhachta plasma RF, córas measctha gáis trí-shreabhadh mais (le raonta 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, agus 1-200 SCCM), foirnéis feadán oscailte trastomhas 60mm (le flange bhfolús agus píobaireacht nasctha), agus caidéal meicniúil.
| Múnla Táirge | Córas Foirnéise Feadáin PECVD sleamhnáin —— OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Príomhpharaiméadair táirge | Soláthar cumhachta: 220V 50/60Hz; Cumhacht rátáilte: 3.1 kW; Teocht oibriúcháin uasta: 1200°C (<0.5 h); Teocht oibriúcháin leanúnach: ≤1100 ° C; Ráta téimh molta: ≤10°C/min; Fad crios téimh: 440mm; Teirmeachúpla: K-cineál |
| Príomhghnéithe | Is féidir le soláthar cumhachta RF feabhsú plasma a bhaint amach agus an teocht turgnamhach a laghdú go suntasach; is féidir ardú agus titim teochta tapa a bhaint amach tríd an gcomhlacht foirnéise a shleamhnú; is féidir strus an scannáin a rialú trí mhinicíocht an tsoláthair chumhachta RF; is féidir an stoichiometry a rialú trí choigeartú próisis; is féidir ábhair éagsúla ar nós SiOx, SiNx, SiOxNy agus (a-Si:H) a chur i dtaisce |
| Eilimint téimh | Sreang cóimhiotal iarainn-cróimiam-alúmanam 0Cr21Al6Nb |
| Méid feadán foirnéise | Trastomhas feadán Grianchloch roghnach: Φ60 |
| Córas rialaithe teochta | Áirítear rialtóir teocht YD858; Rialú PID agus coigeartú féinchoigeartaithe, rialú in-ríomhchláraithe 50-deighleog cliste, le feidhmeanna aláraim ró-teocht agus dóite; cruinneas rialaithe teochta: ± 1 ℃ |
| Soláthar cumhachta plasma RF | Soláthar cumhachta RF 300W; Cumhacht aschuir: 0~300W inchoigeartaithe; Minicíocht RF: 13.56MHZ; Meaitseáil uathoibríoch; Leibhéal torainn < 50dB; Modh fuaraithe: Fuarú aer; Voltas ionchuir: 180 ~ 250V |
| Comhéadan flange séalaithe i bhfolús | Cumraíocht chaighdeánach: péire flanges bhfolús cruach dhosmálta agus fáinní séalaithe silicone ardteochta; is iad na flanges asraonta flanges trí-chalafort K16, KF25, agus Φ8.2; is féidir an flange asraon a nascadh leis an adapter KF25 le bellows agus ansin chuig an gcaidéal folúis. |
| caidéal folúis | Glacadh le caidéal folúis meicniúil eite rothlach dúbailte TRP-12; is féidir le céim fholús 10-2torr a bhaint amach; Tá gabhálais nasc bhfolús feistithe le teanntáin KF25 agus bellows cruach dhosmálta chun foirnéis an fheadáin agus an caidéal folúis a nascadh |
| Córas soláthair gáis | Córas measctha trí-shreabhadh mais - GYS-3Z; Soláthar cumhachta: 220V 50/60Hz; Raonta tomhais: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Tá tomhas brú meicniúil suiteáilte ar an bpainéal tosaigh agus ceangailte leis an bpíopa mheascadh; Raon tomhas brú: -0.1-0.15MPa; Méid umar mheascadh: Φ80 * 120mm; Is é Φ6.35 an píopa nasctha inmheánach |
| Struchtúr foirnéise | Is féidir an comhlacht foirnéise a bhogadh ar chlé agus ar dheis, agus is féidir an soláthar cumhachta RF a bhogadh ar chlé agus ar dheis. Tá an comhlacht foirnéise agus soláthar cumhachta RF suiteáilte ar an iarnród sleamhnáin céanna agus úsáideann siad an feadán grianchloch céanna. |
| Caighdeáin deimhniúcháin agus comhpháirteanna lárnacha | Tá comhpháirteanna lárnacha an mheaisín iomláin i gcomhréir le CE, UL, MET agus caighdeáin deimhniúcháin eile; Áirítear leis na comhpháirteanna lárnacha comhpháirteanna leictreacha ABB, sreanga agus cáblaí deimhnithe UL, ionstraimí Omega, Yudian, Ilchríochach, etc. |

-
Réamhrá le Cóireáil Teasa Fholúis Is próiseas metallurgical chun cinn é cóireáil teasa folúis a úsáidtear chun airíonna meicniúla agus marthanacht comhpháirteanna tionsclaíocha a fheabhsú. Trí ábhair a théamh i dtimpeallacht bhfolús, laghdaítear ocsaídiú agus éilliú, rud a fhágann go bhfuil feidhmíocht ábhartha beacht agus comhsheasmhach. Cuirtear an teicníc seo i bhfeidhm go forleathan i dtionscail ar nós aeraspáis, feithicleach, déantúsaíocht uirlisí, agus leictreonaic. Near...



